矽晶圓製作中應用的超純水設備如何？

時間：2023-10-31

　　熟悉半導體領域的人都知道矽晶圓，矽晶圓作為半導體電路的核心組件，是一種承載物，為了製成半導體積體電路的原材料。所以，半導體質量的好壞與矽晶圓生產息息相關。

　　精品视频一区二区三三区四区發現為了保證矽晶圓質量，其清洗用水多為高質量的超純水，因為隻有超純水作為清洗用水才能保證矽晶圓的品質，保證矽片無雜質吸附，那麽什麽樣的超純水設備才能產出高質量的超純水呢？

超純水設備

　　采用預處理+反滲透+EDI+拋光混床的工藝組合形式的超純水設備方可製備出高質量的超純水。這類矽晶圓超純水設備具有高效低能、運行成本低，水資源利用率高、體積較小、維修量小，運行的時間長等優點。設備應用的EDI模塊水處理過程中不需要添加任何化學品，不僅減少了化學品運輸問題，同時降低了係統運行費用。本模塊不會有酸堿廢液產生，所以不需要酸堿中和池，一般情況下，EDI水處理係統產出的濃水完全可以回收再利用。

　　矽晶圓超純水設備還具有無需樹脂再生，自動化性能強，無需人工操作等優勢。設備能夠連續穩定的製備品質優良的超純水，采用的設計結構相對靠緊，所以其占地非常小，可以為企業節省很多空間，在符合矽晶圓生產用水水質標準的同時可以使水資源的利用率達到80%左右，有效提升了水資源利用率。

　　隨著科技的不斷進步，半導體行業不斷的發展，我國對於該行業的政策支持，使得矽晶圓的市場需求也在不斷增加，超純水的需求也在悄然的增加。

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　　編輯：柒柒技術：米

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